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    HORIBA質(zhì)量流量控制器

    SEC-8000 高溫質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品分類(lèi):HORIBA質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    概要

    質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

    特征

    它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

    • 適用于高溫:可滿(mǎn)足150℃烘焙
    • 產(chǎn)品陣容中有可滿(mǎn)足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)
    • 超清潔類(lèi)型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造
    • 最適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

    規(guī)格

     

    SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:80?100℃

    SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:100?120℃

    SEC-8440LSL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:15?35℃

    SEC-8450LSL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    10/20 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:15?35℃

    SEC-8455LSL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    30/50 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:15?35℃

    SEC-8460LSL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    50/100 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:15?35℃

    SEC-8440LSM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:35?60℃

    SEC-8450LSM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    10/20 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:35?60℃

    SEC-8455LSM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    30/50 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:35?60℃

    SEC-8460LSM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    50/100 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:35?60℃

    SEC-8440LSH

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:60?80℃

    SEC-8450LSH

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    10/20 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:60?80℃

    SEC-8455LSH

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    30/50 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:60?80℃

    SEC-8460LSH

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    50/100 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:60?80℃

    SEC-8440SL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:80?100℃

    SEC-8450SL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    3/5/10 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:80?100℃

    SEC-8455SL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    10/20 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:80?100℃

    SEC-8460SL

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    20/30/50 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:80?100℃

    SEC-8440SM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:100?120℃

    SEC-8450SM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    3/5/10 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:100?120℃

    SEC-8455SM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    10/20 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:100?120℃

    SEC-8460SM

     

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS-316L

    閥門(mén)類(lèi)型

    NO: 非通電時(shí):開(kāi)

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程

    20/30/50 SLM

    流量控制范圍

    2?100% F.S.(滿(mǎn)量程)

    流量精度

    ±1.0% F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度:100?120℃

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