|
作為æ高生產(chÇŽn)çš„å¿…è¦å› ç´ ã€åˆ¶é€ è¨(shè)備的高性能化和å°åž‹åŒ–ã€ä½Žæˆæœ¬åŒ–ç‰æ£æ—¥ç›Šå—到關(guÄn)注。這些è¦æ±‚å°(duì)氣體供給系統(tÇ’ng)，也就是被稱為關(guÄn)éµè¨(shè)備的質(zhì)é‡æµé‡æŽ§åˆ¶å™¨ä¾†(lái)說(shuÅ)有很緊密的è¯(lián)系。而批é‡ä½¿ç”¨æ載了在æˆæœ¬è¡¨ç¾(xià n)æ–¹é¢å„ª(yÅu)å‹¢(shì)明顯的電ç£é–¥çš„質(zhì)é‡æµé‡æŽ§åˆ¶å™¨ï¼Œå‰‡å¯å®Œå…¨ç¬¦åˆåˆ¶ç¨‹è¦æ±‚。
-
采用金屬é¿é¢¨(fÄ“ng)墊圈
å¯å°(duì)應(yÄ«ng)è…è•æ€§æ°£é«”
-
æè¼‰ç•°å¸¸å ±(bà o)è¦åŠŸèƒ½
è¦å ±(bà o)輸出功能為其標(biÄo)準(zhÇ”n)æ載
?SEC-E400J
|
氣體連接部æ質(zhì)
|
SUS-316L,Teflon
|
|
ç£æ€§ä¸éŠ¹é‹¼æ質(zhì)閥形å¼
|
éžé€šé›»æ™‚(shÃ):閉標(biÄo)準(zhÇ”n)
|
|
æµé‡èŒƒåœ
|
5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM
|
|
æµé‡æŽ§åˆ¶èŒƒåœ
|
2?100ï¼… F.S.(å…¨é‡ç¨‹)
|
|
æµé‡ç²¾åº¦
|
±1.0ï¼… F.S.(å…¨é‡ç¨‹)
|
?SEC-E450J
|
氣體連接部æ質(zhì)
|
SUS-316L,Teflon
|
|
ç£æ€§ä¸éŠ¹é‹¼æ質(zhì)閥形å¼
|
éžé€šé›»æ™‚(shÃ):閉標(biÄo)準(zhÇ”n)
|
|
æµé‡èŒƒåœ
|
20/30 SLM
|
|
æµé‡æŽ§åˆ¶èŒƒåœ
|
2?100ï¼… F.S.(å…¨é‡ç¨‹)
|
|
æµé‡ç²¾åº¦
|
±1.0ï¼… F.S.(å…¨é‡ç¨‹)
|
|
