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    HORIBA質(zhì)量流量控制器

    SEC-E70質(zhì)量流量計

    產(chǎn)品分類:HORIBA質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹
     

    概要

    所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

    技術(shù)參數(shù)

     

     

    型號

    SEC- (質(zhì)量流量控制器)

    E60

    E70

    E80

    SEF- (質(zhì)量流量計)

    E60

    E70

    E80

    適用氣體種類*1

    N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

    N2、O2、Air、H2

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

    閥門型號

    非通電時 關(guān)閉

    標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

    50/100 SLM

    200 SLM

    300/500 SLM

    流量控制范圍 (適于SEC系列)

    5?100% F.S.

    流量測量范圍 (適于SEF系列)

    0?100% F.S.

    響應(yīng)速度

    1秒以內(nèi)(T98)

    2秒以內(nèi)(T98)

    流量精度

    ±1% F.S.

    ±2% F.S.

    直線性

    ±0.5% F.S.

    ±1% F.S.

    反復(fù)性

    ±0.5% F.S.

    ±1% F.S.

    工作差壓值值(適于SEC系列)

    100?300kPa(d)

    200?350kPa(d)

    使用壓力 (適于SEF系列)

    350kPa(G)以下

    耐 壓

    1MPa(G)以下

    外部泄漏率

    1×10-7Pa?m3/s(He)以下

    450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

    使用環(huán)境溫度

    5?45℃(精度的確保:15?35℃)

    流量設(shè)定信號

    0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

    流量輸出信號

    0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

    驅(qū)動電源

    +15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

    標準接頭*2

    3/8SWL 類型

    1/2SWL 類型

     

    *1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協(xié)商。
    *2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
    ※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
    ※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
    ※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。

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