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    HORIBA質(zhì)量流量控制器

    SEC-E50質(zhì)量流量計(jì)

    產(chǎn)品分類:HORIBA質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    概要

    所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

    技術(shù)規(guī)格

     

    型號(hào)

    SEC- (質(zhì)量流量控制器)

    E40/E40MK3

    E50/E50MK3

    SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

    E40

    E50

    適用氣體種類*1

    非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

    閥門型號(hào)

    非通電時(shí) 關(guān)閉

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

    10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

    20/30 SLM

    流量控制范圍
    (適于SEC系列)

    2?100% F.S.

    流量測(cè)量范圍
    (適于SEF系列)

    0?100% F.S.

    響應(yīng)速度

    1秒以內(nèi)(T98)

    流量精度

    ±1% F.S.

    直線性

    ±0.5% F.S.

    反復(fù)性

    ±0.2% F.S.

    工作差壓值值
    (適于SEC系列)

    10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

    使用壓力
    (適于SEF系列)

    300kPa(G)以下

    耐 壓

    1MPa(G)以下

    外部泄漏率

    1×10-8Pa?m3/s(He)以下

    使用環(huán)境溫度

    5?50℃(精度的確保:15?35℃)

    流量設(shè)定信號(hào)

    0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

    流量輸出信號(hào)

    0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)

    驅(qū)動(dòng)電源

    +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

    +15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

    標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

    1/4SWL 類型

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