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    您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) ? 產(chǎn)品中心 ? Aera質(zhì)量流量控制器
    Aera質(zhì)量流量控制器

    FC-R7700CD質(zhì)量流量計(jì)

    產(chǎn)品分類:Aera質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    底價(jià)供應(yīng)FC-R7800CD質(zhì)量流量計(jì)

    ?

    FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
    采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性,可適用于絕大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE獨(dú)特電氣信號(hào)可選方案,可方便對(duì)用戶使用的質(zhì)量流量控制器(MFC)進(jìn)行替換,操作簡(jiǎn)單。

    特點(diǎn):

    ◆高精度

    ◆高信賴和可靠性

    ◆耐腐蝕設(shè)計(jì)

    ◆采用金屬密封材質(zhì)

    ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

    ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

    ◆方便的互換性

    ◆高速應(yīng)答***的統(tǒng)一性,目前世界上有大約7萬(wàn)只在運(yùn)行中的產(chǎn)品,內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù)?

    ◆方便的互換性

    ?
    技術(shù)參數(shù):
    ?

    性能指標(biāo)

    FC-R7800CD/FC-R7800D系列

    ?

    FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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    FC-R7820CD/FC-R7820D系列

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    滿量程范圍

    ?

    10Sccm-5Slm

    N/O:6-20slm*

    N/C:6-50slm**

    35-200Slm

    響應(yīng)時(shí)間

    滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒

    滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒

    精度

    ≤±1%滿量程

    ≤±2%滿量程

    線性鍍

    ≤滿量程±0 5%

    ≤滿量程±0 5%?#1

    ≤滿量程±1%

    重復(fù)性

    ????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

    泄漏率

    ??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

    控制范圍

    ??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

    壓差

    49Kpa-275Kpa

    ?

    69Kpa-275Kpa

    98Kpa-275Kpa

    147Kpa-275Kpa

    ?

    正常工作壓

    ?????????????????????????? 490Kpa

    ?

    進(jìn)氣壓力

    ?????????????????????????? 980Kpa

    ?

    溫度范圍

    ?

    ?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

    ?

    輸入電源

    ?

    +15VDC±2% 25mA

    -15VDC±2% 180mA

    +15VDC±2% 25mA

    -15VDC±2% 200mA

    功率

    3.1W max

    3.5W max

    輸入信號(hào)

    0-5 VDC

    輸出型號(hào)

    0-5 VDC

    控制閥形式

    常開(kāi)或常閉電磁閥

    密封件

    金屬密封

    材質(zhì)

    316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

    標(biāo)準(zhǔn)接口

    1/4"VCR和Swagelok兼容

    3/8"VCR,1/4"VCR

    重量

    1.0KG

    2.7KG

    #1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

    #2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

    #3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa5

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