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    Aera質量流量控制器

    FC-R7800CD質量流量控制器

    產品分類:Aera質量流量控制器

    產品介紹

    現貨供應FC-R7800CD氣體流量計

    ?

    FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
    采用金屬材質密封具備優(yōu)異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業(yè)通用和AE獨特電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

    特點:

    ◆高精度

    ◆高信賴和可靠性

    ◆耐腐蝕設計

    ◆采用金屬密封材質

    ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

    ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

    ◆方便的互換性

    ◆高速應答***的統(tǒng)一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽?

    ◆方便的互換性

    ?
    技術參數:
    ?

    性能指標

    FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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    FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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    FC-R7820CD/FC-R7820D系列

    ?

    滿量程范圍

    ?

    10Sccm-5Slm

    N/O:6-20slm*

    N/C:6-50slm**

    35-200Slm

    響應時間

    滿流量的±2%范圍內,小于2秒

    滿流量的±2%范圍內,小于3秒

    精度

    ≤±1%滿量程

    ≤±2%滿量程

    線性鍍

    ≤滿量程±0 5%

    ≤滿量程±0 5%?#1

    ≤滿量程±1%

    重復性

    ????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

    泄漏率

    ??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

    控制范圍

    ??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

    壓差

    49Kpa-275Kpa

    ?

    69Kpa-275Kpa

    98Kpa-275Kpa

    147Kpa-275Kpa

    ?

    正常工作壓

    ?????????????????????????? 490Kpa

    ?

    進氣壓力

    ?????????????????????????? 980Kpa

    ?

    溫度范圍

    ?

    ?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

    ?

    輸入電源

    ?

    +15VDC±2% 25mA

    -15VDC±2% 180mA

    +15VDC±2% 25mA

    -15VDC±2% 200mA

    功率

    3.1W max

    3.5W max

    輸入信號

    0-5 VDC

    輸出型號

    0-5 VDC

    控制閥形式

    常開或常閉電磁閥

    密封件

    金屬密封

    材質

    316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

    標準接口

    1/4"VCR和Swagelok兼容

    3/8"VCR,1/4"VCR

    重量

    1.0KG

    2.7KG

    #1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

    #2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

    #3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa

    4

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