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Delta質(zhì)量流量計(jì)
DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用， 優(yōu)化工藝結(jié)果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數(shù)。比例可從1:1至1:20。
使用DELTA™流量比例控制器(FRC)能更容易獲得最佳的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，F(xiàn)RC使用戶(hù)能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個(gè)不同區(qū)域。根據(jù)氣體(或任何混合氣體)及其設(shè)定比率，F(xiàn)RC會(huì)自動(dòng)將氣體分送到兩個(gè)不同的出口。
在任何新的和已有的工藝設(shè)備中使用FRC都很簡(jiǎn)單。擁有大量程范圍的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供選擇，F(xiàn)RC均可以滿(mǎn)足您的要求。憑借擁有版權(quán)的計(jì)算器，我們應(yīng)用工程師們將為您的應(yīng)用選擇正確的部件。MKS會(huì)傳送給您有關(guān)機(jī)械和電學(xué)細(xì)節(jié)的電子文檔，幫助您開(kāi)始進(jìn)行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個(gè)低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。
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品 牌：MKS
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計(jì)量單位：臺(tái)
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商品性質(zhì)：實(shí)物銷(xiāo)售
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產(chǎn) 地：美國(guó)
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交貨周期：6-8周
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包裝形式：紙箱包裝
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保 修 期：保修12個(gè)月
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市場(chǎng)價(jià)格：請(qǐng)來(lái)電 0510－88701706咨詢(xún)或在線留言
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