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    MKS質(zhì)量流量控制器

    MKS 253B 蝶閥 排氣節(jié)流蝶閥

    產(chǎn)品分類:MKS質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    253B排氣節(jié)流閥的主要特點(diǎn)如下:

    1、253B型排氣節(jié)流閥用來調(diào)節(jié)工藝系統(tǒng)中的氣體排放,通過一個(gè)舌門來調(diào)整氣體的流量,從而控制工藝過程的壓力.

    2、253B型的舌門軸和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸之間有一個(gè)獨(dú)特的非線性激勵(lì)器,用來產(chǎn)生線性的閥門切換特性并提供平滑的線性壓力控制.

    3、253B型有各種標(biāo)準(zhǔn)的尺寸和法蘭類型,它與所有MKS系列節(jié)流閥控制器兼容.

     

    Type 253

    The MKS Type 253 Exhaust Throttle Valve regulates the removal of gas from a processing system. Its flapper is positioned to modulate gas flow, thereby controlling process pressure. The 253 has a non-linear actuator placed between the flapper shaft and the motor drive shaft in order to generate a linear valve transfer characteristic and provide smooth linear pressure control. The MKS Type 253 is available in standard sizes and flange styles, and is compatible with all MKS throttle valve controllers.

    253B-20-40-1

    253B-20-40-2

    253B-1-40-1

    253B-1-40-2

    235B-2-50-1

    235B-2-50-2

    253B-60-63-2

    253B-3-80-2

    253B-4-100-2

    253B-20-2CF-1

    253B-20-2CF-2

    253B-1-2CF-1

    253B-1-2CF-2

    253B-2-3CF-1

    253B-2-3CF-2

    253B-2-4CF-2

    253B-3-6CF-2

    253B-2-2-1

    253B-2-2-2

    253B-60-2-2

    253B-3-2-2

    253B-3-3-2

    253B-3-3-2

    253B-4-4-2

    253B-2-50J-1

    253B-2-50J-2

    253B-4-100J-2

     

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